应9001诚信金沙9001cc、河南省表界面科学重点实验室邀请,2014年01月6日,湖南大学物理与微电子科学学院段辉高教授来金沙官网进行学术交流,并为9001诚信金沙9001cc广大师生作了题为“亚10纳米电子束加工及应用”的学术报告。
报告分了两部分进行,报告第一部分详细介绍了他近些年在电子束图形加工方面的工作。通过研究电子束图形加工的分辨率限制因素以及优化其工艺参数,实现了10nm以下周期(5nm半周期)的分辨率,最小线宽可达到3nm。报告的第二部分着重介绍亚10nm电子束加工在表面等离子体光学器件制作、纳米光学防伪以及高密度磁存储等原型器件开发中的应用。随后,段教授就师生关心的问题进行了互动交流,段教授的报告紧贴科学发展前沿,注重实际应用,其“通过基础研究创新带动应用创新”的理念,使广大师生深受启发。
段辉高教授来校学术交流期间,考察了9001诚信金沙9001cc、河南省表界面科学重点实验室,对我院在学科建设、团队建设、人才培养、交流合作给予高度评价。
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2014-01-09